1.化學沉銅速率的測定:
使用化學沉銅鍍液,對沉銅速率有一定的技術(shù)要求。速率太慢就有可能引起孔壁產(chǎn)生空洞或針孔;而沉銅速率太快,將產(chǎn)生鍍層粗糙。為此,科學的測定沉銅速率是控制沉銅質(zhì)量的手段之一。以先靈提供的化學鍍薄銅為例,簡介沉銅速率測定方法:
(1)材料:采用蝕銅后的環(huán)氧基材,尺寸為100×100(mm)。
(2)測定步驟:
A. 將試樣在120-140℃烘1小時,然后使用分析天平稱重W1(g);
B. 在350-370克/升鉻酐和208-228毫升/升硫酸混合液(溫度65℃)中腐蝕10分鐘,清水洗凈;
C.在除鉻的廢液中處理(溫度30-40℃)3-5分鐘,洗干凈;
D. 按工藝條件規(guī)定進行預浸、活化、還原液中處理;
E. 在沉銅液中(溫度25℃)沉銅半小時,清洗干凈;
F. 試件在120-140℃烘1小時至恒重,稱重W2(g)。
(3) 沉銅速率計算:
速率=(W2-W1)104/8.93×10×10×0.5×2(μm)
(4) 比較與判斷:
把測定的結(jié)果與工藝資料提供的數(shù)據(jù)進行比較和判斷。